Das selbständige Beweisverfahren ist ein Gerichtsverfahren und dient der Prozessbeschleunigung, da es eine relativ rasche Beweiserhebung ermöglicht. Da es auch ohne anhängigen und langwierigen Rechtsstreit durchgeführt werden kann, erleichtert es auch die außergerichtliche Einigung der Parteien. Es ist daher nicht so Kostenintensiv.

Im selbständigen Beweisverfahren geht es nur um Tatsachenfeststellungen. Entscheidungen mit rechtlicher Wertung werden nicht getroffen. Die obergerichtliche Rechtsprechung läßt jedoch die Ermittlung einer "technischen Verursachungsquote" zu, wenn diese Grundlage von Vergleichsverhandlungen sein kann.

Das selbstständige Beweisverfahren ist besonders in zivilen baurechtlichen Streitigkeiten von Bedeutung. 

Zu unterscheiden sind drei Arten des selbständigen Beweisverfahrens –mit unterschiedlichen Zulässigkeitsvoraussetzungen:

• Die Durchführung eines Beweisverfahrens mit Zustimmung des Gegners (§ 485 Abs. 1 1. Halbsatz Zivilprozessordnung ZPO)
• Wenn die Beweiserhebung durch Verlust der Beweismittel gefährdet ist. (§ 485 Abs. 1 2. Halbsatz ZPO)
• Die Durchführung eines selbständigen Beweisverfahrens, wenn ein berechtigtes Interesse an der Feststellung der in § 485 Abs. 2 ZPO genannten Tatsachen besteht. Dies sind:
  Nach § 485 Abs. 2 Satz 1 Nr. 1 ZPO: Zustand oder der Wert einer Sache oder der Zustand einer Person.
  Nach § 485 Abs. 2 Satz 1 Nr. 2 ZPO: Die Ursache eines Personen- oder Sachschadens oder eines Sachmangels.
  Nach § 485 Abs. 2 Satz 1 Nr. 3 ZPO: Der Beseitigungsaufwand für die Beseitigung eines Personen- oder Sachschadens oder eines Sachmangels.